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진공 롤에서 롤 롤 양면 스퍼터링 시스템) (양면 매탈 도금 재료 가능

마그네트론 스퍼터링 진공 코팅 기계의 작동 원리

마그네트론 스퍼터링 진공 코팅 기계의 작동 원리는 자기장과 대상 재료를 사용하여 스퍼터링에 의해 기판에 재료를 증착하는 것입니다.
특정 작업 원칙은 다음과 같습니다.
1. 진공 환경 준비 : 기판을 진공 챔버에서 처리하고 배기 시스템을 통해 진공 챔버를 대피시켜 진공 환경을 형성합니다.
2. 대상 재료를 가열하십시오 : 진공 챔버의 대상 가열 장치는 표적 재료를 가열하여 증발 온도에 도달합니다.
3 자기장을 생성 : 자기장을 대상 재료 근처에 놓고 자기장을 바르고 대상 재료의 표면에 자기장 영역을 형성합니다.
4. 스퍼터링 공정 : 표적 물질이 증발 온도에 도달하면, 표적 재료의 표면의 원자가 자기장의 작용 하에서 혈장을 형성하기 시작한다. 이 플라즈마는 표적 물질의 원자 또는 분자에 영향을 미치거나 스퍼터링 할 것이다.
5. 기질에 대한 증착 :이어서,이어서, 스퍼터링 된 원자 또는 분자는 기판 표면에 증착되어 원하는 필름을 형성한다.
대상 재료의 온도, 스퍼터링 전력, 가스 압력 등과 같은 스퍼터링의 공정 파라미터를 제어함으로써, 증착 된 필름의 두께, 조성 및 구조를 제어 할 수있다.
일반적으로, 마그네트론 스퍼터링 진공 코팅 기계는 표적 재료를 가열하고 증발시키고, 자기장의 작용하에 박막의 작용하에 스퍼터 터는 원자 또는 분자를 퇴적하여 박막의 제조를 달성합니다 ..

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제품 매개 변수
기판 재료 PET/pp 3 μm ~ 12μm
너비 1350mm (유효 증착 너비 : 1300mm)
라인 속도 2m/분 (각 측면에서 1μm x 양쪽)
생산 능력 : 약 95,000m 2 /월
코팅 사양 로터리 마그네트론 스퍼터링 캐소드 32 세트
작동 공기 압력 : 0.5 ~ 1.0pa
표면 처리 히터 또는 론 폭격
막 성능 멤브레인 조성 : 접착층 (SP)/전극 층 Cu (증발)/보호 층 (SP)
두께 분포 : ± 5 %
막 저항 : 25MΩ □
제품이 권장됩니다
Kota Technology Limited Company

우리에 대해

Kota Technology Limited Company 2012 년에 설립 된 자본은 1 천만 위안의 자본을 보유하고 있으며 국가 첨단 기술 기업입니다.
중국 상하이에 본사를 둔이 회사는 Nantong, Yancheng 및 Jiangsu Province에있는 자회사를 보유하고 있으며 중국과 일본에 R & D 센터를 설립하여 글로벌 시장을 배치했습니다. 현재이 회사는 잘 알려진 국내 New Energy 지능형 장비 제조업체로 성장했으며 미국의 리튬 구리 포일 장비 분야의 기업입니다. 일본 나고야에있는 Matsuda Mitsuya가 이끄는이 회사의 핵심 기술 팀은 고 정밀 전자 기계 장비 분야에서 고급 제조 장비 및 자동화 시스템의 개발 및 통합에 중점을 둡니다. 일본의 고급 기술 및 설계 개념을 도입하고 일본의 원래 정밀 부품의 수입을 통해 회사가 생산 한 다양한 장비 제품은 업계 벤치 마크가되었습니다.

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산업 지식

1. 제어 된 진공 환경 생성
Magnetron Sputtering 프로세스의 첫 번째 단계는 제어 된 진공 환경을 만드는 것입니다. 코팅 공정에 필수적인 진공 챔버는 기판과 표적 재료를 수용합니다. 챔버를 준비 할 때는 정교한 배기 시스템을 사용하여 대피하여 높은 수준의 진공을 달성합니다. 공기 입자, 먼지 또는 박막 증착의 품질을 방해 할 수있는 모든 형태의 오염을 제거하는 데 진공이 필요합니다.
이 진공을 만들면 진공 롤로 롤 양면 스퍼터링 시스템 최소한의 저항으로 작동하려면 증착 프로세스를보다 효율적으로 만듭니다. 그것은 표적 물질의 산화를 방지하고 표적 물질로부터의 스퍼터링 된 원자 만 기판에 증착되도록한다. Hongtian Technology Co., Ltd.의 경우, 진공 환경은 일반적으로 0.5 ~ 1.0 PA이며, 구리 또는 알루미늄과 같은 금속 층을 스퍼터링하는 데 최적의 압력 범위입니다.
챔버가 원하는 진공 아래에 있으면, 균일 한 코팅을 보장하기 위해 기판이 조심스럽게 정렬된다. 전형적으로 3 μm 내지 12 μm 범위의 두께로 PET (폴리에틸렌 테레 프탈레이트) 또는 PP (폴리 프로필렌)와 같은 기질은 코팅 공정 동안 연속적으로 움직이다. 진공은 코팅이 기판의 전체 표면적에 지속적으로 적용되도록합니다. 진공 롤-롤 롤 양면 스퍼터링 시스템은 분당 약 2 미터의 라인 속도로 고속 작업을 위해 설계되었습니다. 이는 한 달에 약 95,000 평방 미터의 코팅이 가능한 Hongtian Technology Co., Ltd.의 시스템을 통해 대규모 생산에 이상적입니다.
진공을 제어함으로써 시스템은 잠재적 인 오염을 최소화하고 스퍼터링 공정을위한 깨끗하고 안정적인 환경을 제공하여 최종 코팅 된 필름이 두께, 균일 성 및 접착력에 필요한 사양을 충족하도록합니다.

2. 마그네트론 스퍼터링 공정 : 재료 증착
진공 환경이 설정되면 스퍼터링 프로세스가 시작됩니다. Hongtian Technology Co., Ltd.는 32 세트의 마그네 트론을 갖춘 로터리 마그네트론 스퍼터링 캐소드를 사용하여 기판의 양쪽에 균일 한 재료 증착을 보장하기 위해 전략적으로 배치됩니다. 스퍼터링 공정은 불활성 가스, 일반적으로 아르곤이 진공 챔버에 도입 될 때 시작됩니다. 대상 재료에 고전압이 적용되어 가스 이온이 이온화됩니다.
이온화 된 가스 분자는 표적 물질과 충돌하여 표면 표면으로부터 원자를 제거한다. 그런 다음이 원자를 배출하고 진공을 통해 기판으로 이동하여 얇고 균일 한 코팅을 응축하고 형성합니다. 이 공정은 Hongtian Technology Co., Ltd.를 통해 코팅 두께가 정확한 공차 범위 내에서 ± 5%로 유지되도록하여 생산 전반에 걸쳐 일관된 품질을 허용합니다.
Magnetron 스퍼터링 프로세스의 주요 장점 중 하나는 기판의 양쪽을 동시에 코팅하는 능력입니다. 이 듀얼 측면 스퍼터링은 효율성을 크게 높이고 생산 시간을 줄이며, 이는 대량의 코팅 된 재료가 필요한 산업의 주요 이점입니다. 스퍼터링에 사용되는 대상 재료는 응용 프로그램에 따라 다를 수 있습니다. 예를 들어, 구리 (Cu)는 일반적으로 전극 재료로 사용되는 반면, 다른 재료는 보호 층에 사용될 수 있습니다. Hongtian Technology Co., Ltd.는 대상 재료가 적절하게 가열되어 최적의 스퍼터링 조건을 제공합니다.
표준 금속 코팅 외에도 시스템은 접착 층 (SP), 전극 층 (Cu) 및 보호 층 (SP)과 같은 복잡한 다층 필름의 증착을 수용합니다. 이 층화 된 접근법은 코팅의 성능을 향상시켜 내구성, 전기 전도성 및 부식에 대한 저항성을 향상시킵니다. 로터리 마그네트론 스퍼터링 캐소드는 증착이 균일하고 기판의 양쪽에 걸쳐 일관되도록하여 Hongtian Technology Co., Ltd.가 다양한 산업의 엄격한 표준을 충족하는 고품질 코팅 재료를 생산할 수 있도록합니다.

3. 코팅 품질 및 성능 최적화
코팅의 품질과 성능을 보장하는 것은 스퍼터링 공정의 중요한 부분입니다. 이 시스템에는 기판에 적용된 박막의 접착력 및 내구성을 향상 시키도록 설계된 기능이 장착되어 있습니다. 재료가 기질에 스퍼터링 된 후, Hongtian Technology Co., Ltd.는 가열 또는 이온 폭격 처리를 사용하여 코팅과 기판 사이의 접착력을 개선합니다. 이 단계는 후속 핸들링 또는 응용 프로그램, 특히 까다로운 환경에서 코팅이 그대로 유지되도록하는 데 필수적입니다.
코팅의 구성은 일반적으로 접착층 (SP), 전도성 전극 층 (Cu) 및 보호 층 (SP)으로 구성됩니다. 이 층의 조합은 기계적 강도, 전기 전도성 및 마모 및 부식에 대한 저항성을 포함하여 몇 가지 이점을 제공합니다. 보호 층은 코팅이 수분, 먼지 및 온도 변동과 같은 환경 적 요인에 내성을 보장하며, 이는 전자 제품 및 자동차와 같은 산업에서 특히 중요합니다.
Hongtian Technology Co., Ltd.는 코팅의 균일 성과 두께를 제어하는 ​​데 중점을 둡니다. 막 두께 분포 공차가 ± 5%의 경우,이 시스템은 진공 롤로 처리 된 모든 기판이 양면 스퍼터링 시스템으로 일관된 코팅을 수신하도록 보장합니다. 이 정밀도는 반도체, 태양 전지판 또는 자동차 부품의 장식 마감과 같이 균일 성과 신뢰성이 중요한 응용 분야에 필수적입니다.
최종 코팅의 저항은 일반적으로 약 25 MΩ □이며, 전기 및 에너지 저장 시스템의 적용에 필수적인 전기 저항력과 탁월한 전도도를 보장하는 값입니다. 코팅 공정에 대한 높은 수준의 제어 및 대량의 고품질 재료를 생산하는 능력은 Hongtian Technology Co., Ltd.의 기술을 정밀도, 신뢰성 및 효율성을 요구하는 산업에 이상적인 선택입니다 .