고 고 고 혈장 진공 코팅 장비 : dpc 세라믹 기판의 금속 화를 화를 가능하게하는 코어 장비 장비

반도체 반도체 반도체 기판 세라믹 장비는 높은 높은 진공 전기장 플라즈마 스퍼터링의 원리를 채택하고 채택하고 채택하고, 소량의 아르곤 가스를 폐쇄 공동에 주입하고 주입하고, 고전압의 작용하에 아르곤 이온 흐름으로 이온화합니다 이온화합니다. 이러한 고 에너지 아르곤 이온은 표적 재료의 표면의 원자가 세라믹 기판 표면에 "스퍼터링"되어 고르게 퇴적되어 조밀 한 구조 및 강한 접착제로 구리-금속 복합 층을 형성하도록 표적 재료를 방향으로 가속화하고 폭격 할 것이다.
반도체 반도체 기판 세라믹 장비 dpc 기판 세라믹 처리 처리 기술의 핵심 핵심 링크이며 링크이며, 후속 회로 제조, 그래픽 전송 및 기능적 기능적 통합을위한 기초를 마련했습니다 마련했습니다. 고정밀 고정밀 층 층 금속 통해 세라믹 기판은 우수한 우수한 전도도를 달성 달성 할뿐만 할뿐만 아니라 열 안정성과 안정성과 기계적 강도를 더 강하게 달성하여 5g 통신, 자동차 전자 제품 제품 및 기판 기판 성능을위한 모듈과 모듈과 같은 고급 응용 프로그램의 엄격한 요구 완전히 완전히 충족시킵니다 충족시킵니다 충족시킵니다 충족시킵니다 충족시킵니다.
금속 금속 금속 층 층 동안, 임의의 불순물은 증착 증착 된 층의 구조적 안정성 안정성, 전기적 특성 및 접착에 접착에 영향을 미칩니다 미칩니다. 따라서이 따라서이 높은 높은 장비에는 포장 챔버 챔버 시스템이 장착되어 있으며 진공 정도는 10 ° PA 수준에 도달 할 있습니다 있습니다. 고효율 고효율 고효율 펌프 배기도 배기도, 다층 밀봉 구조에 대한 대한 기계식 기계식 연결을 연결을 통해 통해 통해 통해, 다층 밀봉 구조, 가스 누출이 방지되고, 챔버의 내부 벽이 연마되고 연마되고 연마되고 연마되고, 흡착 잔류 물이 감소하여, 공급원의 순도와 산화 산화 반응이 반응이 개선되기 위해 위해 위해 금속의 균일성을성을 크게 크게 개선 시켜서 시켜서, 특히, 특히, 특히, 특히, 특히, 특히, 특히, 특히) 및 순도 순도 일관성에 대한 매우 높은 높은 요구 사항을 가진 고출력 장치의 기판 기판.
이이이 정밀 장비는 플라즈마 이온 이온 소스 채택하며 채택하며 채택하며, 다른 표적 재료 재료, 표적 두께, 기판 모양 및 및 위치에 따라 자동으로 수 있습니다 있습니다 있습니다. 이이 제어 고도로 고도로 이온 소스 구조는 금속 금속 원자의보다 균일 균일 한 한 분포를 분포를 달성하여 전체 전체 세라믹 기판 표면의 금속 복합층의 두께 균일 균일 성 성 및 표면 일관성 오차가 오차가 ± 3%미만이며, 이는 특히 대형 또는 특수 형성 세라믹 기판의 기판의 안정적인 안정적인 생산에 적합합니다 또는 또는 또는 또는 또는 또는 또는.
다양한 다양한 세라믹 사양의 사양의 대한 고객의 가공 요구를 요구를 충족시키기 위해 위해 반도체 반도체 세라믹 기판 코팅 장비는 장비는 모듈 식 구조 설계를 채택하여 기판 고정물을 유연하게 유연하게 할 할 수 있으며 확장 인터페이스는 듀얼 스테이션 스테이션 또는 다중 경화 평행 레이아웃을 지원합니다 지원합니다 지원합니다 지원합니다 지원합니다.
제어 제어 다양한 시스템은 시스템은 매개 변수를 사전 사전 설정하고 제품 배치를 배치를 전환 할 수 있습니다 있습니다. 이이 장비 구조는 구조는 유연성을 향상시킬뿐만 향상시킬뿐만 아니라 제품 모델을 전환 할 할 때 기계 조정 시간 및 및 수동 중재 크게 줄입니다 줄입니다 줄입니다. oem, 연구 과학 시험 생산 생산 및 대량 생산 생산 호환 및 병렬 생산 환경에 매우 적합합니다 적합합니다.
반도체 반도체 기판 기판 세라믹 장비 전원 전원 공급 시스템은 고효율 고효율 전원 공급 공급 에너지 절약 제어 로직을 채택하며 에너지 소비는 소비는 전통적인 이온 도금 비해 비해 비해 15% -30% 감소합니다. 동시에 동시에, 시작 자동-스톱 및 대기 최적화 메커니즘 메커니즘, 프로세스 안정화 후 후 자동 전력 조정이 있으며 과도한 에너지 소비를 줄입니다 줄입니다. 다중 다중 다중 링키지 경력 구성은 구성은 24 시간 시간 중단되지 않은 연속 생산을 달성 할 수 있습니다 있습니다. 단위 단위 단위 에너지 출력 민감하고 새로운 에너지 차량 차량, 5g 통신 통신 및 및 전력 전력 모듈 제조업체와 같은 비트 비트 대한 높은 높은 요구 사항이 높은 세라믹 기판 대량 생산 고객에게 특히 적합합니다 .